Висока чистота 99,8% титан клас 7 кръгове разпръскване мишени ti сплав мишена за покритие фабрика доставчик
Параметри на продукта
Име на продукта | Титаниева мишена за машина за pvd покритие |
Степен | Титан (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7,GR12)Мишена от сплав: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr и др |
Произход | Град Баоджи, провинция Шанси, Китай |
Съдържание на титан | ≥99,5 (%) |
Съдържание на примеси | <0,02 (%) |
Плътност | 4,51 или 4,50 g/cm3 |
Стандартен | ASTM B381; ASTM F67, ASTM F136 |
Размер | 1. Кръгла цел: Ø30--2000mm, дебелина 3.0mm--300mm;2. Планка: Дължина: 200-500 мм Ширина: 100-230 мм Дебелина: 3--40 мм;3. Тръбна цел: Диаметър: 30-200 mm Дебелина: 5-20 mm Дължина: 500-2000 mm;4. Наличен е персонализиран |
Техника | Ковани и обработени с CNC |
Приложение | Разделяне на полупроводници, материали за филмово покритие, покритие на електроди за съхранение, разпрашващо покритие, повърхностно покритие, индустрия за стъклени покрития. |
Химически изисквания към титановата цел
ASTM B265 | GB/T 3620.1 | JIS H4600 | Елементно съдържание (≤wt%) | ||||||
N | C | H | Fe | O | други | ||||
Чист титан | гр.1 | TA1 | Клас1 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,20 | 0,18 | / |
гр.2 | TA2 | клас 2 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | / | |
ТитанСплав | Гр.5 | TC4Ti-6Al-4V | Клас60 | 0,05 | 0,08 | 0,015 | 0,40 | 0,2 | Al:5,5-6,75 V:3.5-4.5 |
гр.7 | TA9 | клас12 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Pd: 0,12-0,25 | |
Гр.12 | TA10 | Клас 60E | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Mo: 0,2-0,4 Ni:0,6-0,9 |
Надлъжни механични свойства при стайна температура
Степен | Якост на опънRm/MPa (>=) | Граница на провлачванеRp0,2 (MPa) | УдължениеA4D(%) | Намаляване на площтаZ(%) |
Gr1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
Gr2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
Gr5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
Gr7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
Gr12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
Мишени за разпръскване на титан
Общият размер на титаниевата мишена за разпръскване: Φ100*40, Φ98*40, Φ95*45, Φ90*40, Φ85*35, Φ65*40 и т.н.
Също така може да се персонализира според заявките или чертежите на клиента
Целеви изисквания: висока чистота, равномерни кристални зърна и добра компактност.
Чистота: 99,5%, 99,95%, 99,98%, 99,995%.
Процес на производство на Titanium Target
титаниева гъба --- претопена до титанов слитък --- тест --- изрязване на слитъка --- коване --- валцуване --- белене --- изправяне --- ултразвуково откриване на дефекти --- опаковане
Характеристики на титанова цел
1. Ниска плътност и висока специфична якост
2. Отлична устойчивост на корозия
3. Добра устойчивост на топлина
4. Отлична устойчивост на криогенни свойства
5. Немагнитни и нетоксичен
6. Добри топлинни свойства
7. Нисък модул на еластичност