Високо чист 99,8% титанов клас 7 кръга разпрашителни мишени от титанова сплав, мишена за доставчик на покрития
Параметри на продукта
Име на продукта | Титаниева мишена за машина за PVD покритие |
Оценка | Титан (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7, GR12)Мишена от сплав: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr и др |
Произход | Град Баоджи, провинция Шанси, Китай |
Съдържание на титан | ≥99,5 (%) |
Съдържание на примеси | <0,02 (%) |
Плътност | 4,51 или 4,50 г/см3 |
Стандартен | ASTM B381; ASTM F67, ASTM F136 |
Размер | 1. Кръгла мишена: Ø30--2000 мм, дебелина 3.0 мм--300 мм;2. Целева площ на плочата: Дължина: 200-500 мм Ширина: 100-230 мм Дебелина: 3--40 мм;3. Тръбна мишена: Диаметър: 30-200 мм Дебелина: 5-20 мм Дължина: 500-2000 мм;4. Предлага се персонализирано |
Техника | Ковани и CNC обработени |
Приложение | Разделяне на полупроводници, Материали за филмови покрития, Покритие на електроди за съхранение, Разпрашително покритие, Повърхностно покритие, Стъкларска промишленост. |
Химични изисквания за титаниева мишена
ASTM B265 | GB/T 3620.1 | JIS H4600 | Елементарно съдържание (≤wt%) | ||||||
N | C | H | Fe | O | Други | ||||
Титанов чист | Гр.1 | ТА1 | Клас 1 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0.20 | 0.18 | / |
Гр.2 | ТА2 | Клас 2 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0.30 | 0,25 | / | |
ТитанСплав | Гр.5 | TC4Ti-6Al-4V | Клас60 | 0,05 | 0,08 | 0,015 | 0,40 | 0.2 | Al:5.5-6.75 V:3.5-4.5 |
Гр.7 | ТА9 | Клас 12 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0.30 | 0,25 | Pd: 0,12-0,25 | |
Гр.12 | TA10 | Клас60Е | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0.30 | 0,25 | Mo:0.2-0.4 Ni: 0.6-0.9 |
Надлъжни механични свойства при стайна температура
Оценка | Якост на опънRm/MPa(>=) | Граница на провлачванеRp0.2 (МПа) | УдължениеA4D(%) | Намаляване на площтаZ(%) |
Гр1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
Гр2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
Гр5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
Гр7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
Гр12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
Титаниеви разпрашителни мишени
Обичайният размер на титаниевата мишена за разпрашаване: Φ100*40, Φ98*40, Φ95*45, Φ90*40, Φ85*35, Φ65*40 и др.
Също така може да се персонализира според заявките или чертежите на клиента
Целеви изисквания: висока чистота, еднородни кристални зърна и добра компактност.
Чистота: 99,5%, 99,95%, 99,98%, 99,995%.
Процес на производство на титаниеви мишени
титаниева гъба --- разтопена до титанов слитък --- тест --- рязане на слитъка --- коване --- валцуване --- белене --- изправяне --- ултразвуково откриване на дефекти --- опаковане
Характеристики на титаниевата мишена
1. Ниска плътност и висока спецификационна якост
2. Отлична устойчивост на корозия
3. Добра устойчивост на въздействието на топлина
4. Отлично отношение към криогенните свойства
5. Немагнитен и нетоксичен
6. Добри термични свойства
7. Нисък модул на еластичност